SmartS超纯水机在集成电路制造中制备纯水过程
Smart-S超纯水机在集成电路制造中制备纯水过程
在大规模集成电路制造中，每一阶段结束后，都要用水冲洗。因为在进行微米级的微细加工时，必须绝对避免同会使半导体性能变坏的杂质接触，还要防止杂质进入气路导管。为了达到这一目的，用于冲洗的水要经过超纯水机严格提纯制备。
在生产大规模集成电路时要求的超纯水无法从自然获得，必须通过超纯水机或其他方式进行制备。超纯水的精炼分为一次纯水处理和二次纯水处理。一般来说，通过Smart-S超纯水机将向各车间供应的纯水集中处理是一次纯水处理，各车间各自进行的处理是二次纯水处理。
经过超纯水机提纯的一次纯水处理的水源有城市自来水、工业用水、河流的水、地下水、井水等，应根据水源和水的性质进行相应过滤等前处理，然后用渗透膜和离子交换膜去除微细的悬浮液为例子和溶解于其中的物质，以得到集成电路制作中所需要的水质。经过超纯水机制备的一次纯水已经很干净，但是非常容易溶解其他物质，因此在贮存和运输过程中，一定要小心使其不被重新污染。
为了保证水质完全符合要求，在使用现场还要再次进行精炼，即进行超纯水机二次纯水处理。二次纯水处理设备就安装在制造半导体器件的超净房间里，或放在它的附近。二次纯水处理所需要的Smart-S超纯水机中包括有紫外线杀菌装置，非再生型盒式离子交换装置、微过滤器和超级过滤的薄膜过滤器等，经过这样一系列的严格制备所得到的超纯水，能够符合集成电路制造生产中对水的需求。
免责声明 本文仅代表作者个人观点，与本网无关。其创作性以及文中陈述文字和内容未经本站证实，对本文以及其中全部或者部分内容、文字的真实性、完整性、及时性本站不做任何保证或承诺，请读者仅作参考，并请自行核实相关内容。
版权声明 未经蚂蚁淘授权不得转载、摘编或利用其他方式使用上述作品。已经经本网授权使用作品的，应该授权范围内使用，并注明“来源：蚂蚁淘”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
发布于 ： 2021-09-07
阅读（126）
▍
相关分类
▍
相关文章
Membership of the ESM
www.npckk.com的综合查询_爱站网
细胞微环境对免疫细胞黏附与迁移的调控
ImmunoVision代理品牌：ImmunoVision代理美网
美国Stemgent 干细胞研究试剂_Stemgent_上海翊圣生物 ...
什么是晶状体、睫状体和调节机制_
AGEBSA—最好的晚期糖基化终末产物（AGEs）标准品 ...
人波形蛋白(VIM)酶联免疫组化试剂盒优质现货上海抚生实业有限公司
通用电气医疗系统贸易发展(上海)公司召回磁共振成像系统_上海...
PlasLabs品牌简介 PlasmaChem 品牌库 生物在线
优质超纯水机有哪些特点?
TOMOS生命科学集团彩页更新0517.pdf原创力文档
